上海福宜真空設備有限公司

上海福宜真空設備有限公司，是致力于真空鍍膜設備、復雜鍍膜工藝和真空設備核心部件的研發、生產、銷售及技術服務的高新技術企業。公司開發的主要設備有：工模具硬質涂層鍍膜設備、磁控濺射鍍膜設備、多弧離子鍍膜設備、磁控濺射復合多弧離子鍍鍍膜設備、連續線式磁控濺射鍍膜生產線、光學鍍膜設備、CVD和PECVD化學氣相沉積設備、ICP刻蝕設備和ALD原子層沉積等系列真空鍍膜和表面處理設備。 ?

公司創始人和核心技術團隊，致力于復雜鍍膜工藝的開發，鍍膜工藝和設備集成的理論和實際相結合是公司發展的主要特色。相對于整機設備和鍍膜工藝技術，國內核心部件的研究和制備技術水平與國外差距更大。公司投入超過1000萬元，重點開發的核心部件主要有：高材料利用率（材料利用率超過40-60%以上）矩形平面磁控濺射陰極、產業用旋轉磁控濺射陰極（材料利用率達到80%以上）、線性離子源、多弧陰極、多弧過濾陰極和多弧旋轉柱狀陰極等。通過核心部件的研發，提升了公司整機設備的技術水平、性價比和核心競爭力，主要技術達到國際同期水平。 ?